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  • 十三五国度02科技严重专项

    “集(ji)成电路靶材用超高(gao)纯金属资(zi)料财产化(hua)手艺(yi)”名目,参加国度(du)科技(ji)部极(ji)大范围集(ji)成电路配套设备(bei)与工艺(yi)严(yan)重(zhong)(zhong)专项(02严(yan)重(zhong)(zhong)专项)。

    更多 2021-02-27

  • 十三五国度02科技严重专项 “20-14nm先导产物工艺开辟”名目

    十三(san)五国(guo)度(du)02科(ke)技(ji)严(yan)重(zhong)(zhong)专项“20-14nm先导产物(wu)工(gong)艺开辟(pi)”名目(mu),参加(jia)国(guo)度(du)科(ke)技(ji)部极大(da)范围集(ji)成电路配套设备(bei)与工(gong)艺严(yan)重(zhong)(zhong)专项(02严(yan)重(zhong)(zhong)专项)。

    更多 2021-02-27

  • 国度计谋性新兴财产成长专项资金打算

    “年产1万(wan)个高(gao)线(xian)代平板显(xian)现器及进步前辈(bei)封装用靶材财(cai)产化”名(ming)目,参(can)加国度计谋性新兴(xing)财(cai)产成长专项资金(jin)打算(suan)。

    更多 2020-03-10

  • 国度电子信息财产成长基金名目

    “超大范围集成电路PVD工艺制作用(yong)铝(lv)和钽溅射靶材的(de)财产化”名(ming)目,参(can)加国度工信(xin)部电子(zi)信(xin)息财产成长基金名(ming)目。 

    更多 2020-03-10

  • 十一五国度02科技严重专项

    “300mm极(ji)(ji)大(da)范(fan)围集成电(dian)路用(yong)Al、Ti、Ta 靶(ba)材制作手艺研讨与开辟”名目,参加十(shi)一(yi)五国度科技部(bu)极(ji)(ji)大(da)范(fan)围集成电(dian)路配套设备(bei)与工艺严(yan)(yan)重(zhong)(zhong)专项(02严(yan)(yan)重(zhong)(zhong)专项..

    更多 2020-03-10

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